1、工作原理：
1.1、螺杆式真空泵：螺杆式真空泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动，但无压缩，只有螺杆末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。
1.2、液环真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当叶轮旋转时，把液体抛向泵壳并形成与泵同心的液环，液环同转子、叶片形成容积周期变化的旋转变容真空泵。
2、真空度：
2.1、螺杆泵的真空度可以达到-750mmHg，真空度比较稳定；真空油一般用风冷。
2.2、液环真空泵真空度可以达到-725mmHg。由于受水蒸气分压的影响，真空度、吸气量会随着水温、空气温度变化。工作液温度高、吸气温度高真空度就低，工作液温度、吸气温度高低真空度就高。因此系统必需提供冷冻水及降低泵的吸气温度。
3、机组配置
3.1、螺杆泵供应商向客户提供的是标准成套的机组，运到客户现场马上可以使用。标配的电控箱是螺杆泵的特色，真空机组运行的各种工况在电控箱上都可以显示。
3.2、液环泵可提供单泵或成套机组，客户可以自由选择。如机组配置有误，可能会造成真空泵的工作液回流到系统里面。单泵运行时如果没有水路保护，单真空泵断水时会造成真空泵的损坏。
4、运行费用
4.1、螺杆真空泵像螺杆空压机一样在固定周期内（运行约8000小时）要做保养。需更换真空油、油过滤器、进气过滤器、排气过滤器等。正常情况下螺杆泵的运行效率比液环泵高10-20%。
4.2、液环泵2-3年内基本上无需更换配件。
5、运行工况
5.1、螺杆真空泵不适于抽对泵油会起化学反应、含有颗粒尘埃及水汽含量高的气体。（在电子行业的工艺真空工艺不会出现上述问题）
5.2、液环真空泵可允许被抽气体含有大量水蒸气和微少固体颗粒，这是其它型式的真空泵都不可比拟的优点。由于气体的压缩过程是等温压缩，所以该泵适合于抽吸，压送易燃易爆及有毒气体。
6、投资成本
螺杆真空泵的价格比液环泵高30%左右。
7、占地面积
液环真空泵的占地面积会比螺杆泵大15%。
1.1、螺杆式真空泵：螺杆式真空泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动，但无压缩，只有螺杆末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。
1.2、液环真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当叶轮旋转时，把液体抛向泵壳并形成与泵同心的液环，液环同转子、叶片形成容积周期变化的旋转变容真空泵。
2、真空度：
2.1、螺杆泵的真空度可以达到-750mmHg，真空度比较稳定；真空油一般用风冷。
2.2、液环真空泵真空度可以达到-725mmHg。由于受水蒸气分压的影响，真空度、吸气量会随着水温、空气温度变化。工作液温度高、吸气温度高真空度就低，工作液温度、吸气温度高低真空度就高。因此系统必需提供冷冻水及降低泵的吸气温度。
3、机组配置
3.1、螺杆泵供应商向客户提供的是标准成套的机组，运到客户现场马上可以使用。标配的电控箱是螺杆泵的特色，真空机组运行的各种工况在电控箱上都可以显示。
3.2、液环泵可提供单泵或成套机组，客户可以自由选择。如机组配置有误，可能会造成真空泵的工作液回流到系统里面。单泵运行时如果没有水路保护，单真空泵断水时会造成真空泵的损坏。
4、运行费用
4.1、螺杆真空泵像螺杆空压机一样在固定周期内（运行约8000小时）要做保养。需更换真空油、油过滤器、进气过滤器、排气过滤器等。正常情况下螺杆泵的运行效率比液环泵高10-20%。
4.2、液环泵2-3年内基本上无需更换配件。
5、运行工况
5.1、螺杆真空泵不适于抽对泵油会起化学反应、含有颗粒尘埃及水汽含量高的气体。（在电子行业的工艺真空工艺不会出现上述问题）
5.2、液环真空泵可允许被抽气体含有大量水蒸气和微少固体颗粒，这是其它型式的真空泵都不可比拟的优点。由于气体的压缩过程是等温压缩，所以该泵适合于抽吸，压送易燃易爆及有毒气体。
6、投资成本
螺杆真空泵的价格比液环泵高30%左右。
7、占地面积
液环真空泵的占地面积会比螺杆泵大15%。